1.中華民國 91  年 8 月 12 日經濟部經審字第 09109014210 號令訂定
  發布全文 10 點；並自 91 年 8 月 12 日起實施
2.中華民國 96  年 1  月 4  日經濟部經審字第 09509029150 號令修正
  發布全文 11 點；並自95年12月29日生效
3.中華民國 99  年 2  月 26 日經濟部經審字第 09904601130 號令修正
  發布名稱及全文 9  點；並自即日生效（原名稱：在大陸地區投資晶
  圓廠審查及監督作業要點）
4.中華民國 100 年 3  月 22 日經濟部經審字第 10004601580 號令修正
  發布全文 10 點；並自即日生效
5.中華民國 102 年 10 月 1  日經濟部經審字第 10204605340 號令修正
  發布第 5 點條文；並自即日生效
6.中華民國 104 年 9  月 9  日經濟部經審字第 10404604370 號令修正
  發布全文 9 點；並自 104 年 9 月 4 日生效