1.中華民國九十一年八月十二日經濟部經審字第 09109014210  號令訂定
  發布全文 10 點；並自九十一年八月十二日起實施
2.中華民國九十六年一月四日經濟部經審字第 09509029150  號令修正發
  布全文 11 點；並自九十五年十二月二十九日生效
3.中華民國九十九年二月二十六日經濟部經審字第 09904601130  號令修
  正發布名稱及全文 9  點；並自即日生效（原名稱：在大陸地區投資晶
  圓廠審查及監督作業要點）
4.中華民國一百年三月二十二日經濟部經審字第 10004601580  號令修正
  發布全文 10 點；並自即日生效
5.中華民國一百零二年十月一日經濟部經審字第 10204605340  號令修正
  發布第 5  點條文；並自即日生效
6.中華民國一百零四年九月九日經濟部經審字第 10404604370  號令修正
  發布全文 9  點；並自一百零四年九月四日生效