1.中華民國 101 年 4  月 26 日經濟部經能字第 10104602650 號令訂定
  發布全文 12 點
2.中華民國 104 年 7  月 2  日經濟部經能字第 10404602480 號令修正
  發布全文 13 點；並自即日生效
3.中華民國 105 年 3  月 10 日經濟部經能字第 10503804030 號令修正
  發布第 3、4、7、11 點及第 8 點之附件四、附件五；並自即日生效
4.中華民國 106 年 2  月 16 日經濟部經能字第 10603801770 號令修正
  發布名稱及第 1、3、7、8 點及第 4 點之附件一、附件二、附件三（
  原名稱：廢熱回收技術示範應用專案補助要點）
5.中華民國 111 年 3  月 15 日經濟部經授能字第 11105002160 號令修正
  發布第 8 點；增訂第 12 點，原第 12、13 點遞移為第 13、14 點；並
  自即日生效
6.中華民國 113 年 4  月 30 日經濟部經授能字第 11304002820 號令修正
  發布第 2、4、7、8、13 點及第 4 點之附件一；並自即日生效