1.中華民國 99  年 4  月 30 日經濟部經能字第 09904602280 號令訂定
  發布全文 14 條；並自發布日施行
2.中華民國 99  年 11 月 3  日經濟部經能字第 09904607200 號令修正
  發布第 2 條條文
3.中華民國 101 年 8  月 29 日經濟部經能字第 10104605770 號令修正
  發布第 3、5、7、9 條條文
4.中華民國 103 年 8  月 13 日經濟部經能字第 10304603480 號令修正
  發布名稱及全文 16 條；並自發布日施行（原名稱：再生能源發電設備
  示範獎勵辦法）
5.中華民國 108 年 7  月 1  日經濟部經能字第 10804602910 號令修正
  發布第 1 條條文
  中華民國 112 年 9  月 13 日行政院院臺規字第 1121031987 號公告
  第 2 條第 2 項所列屬「經濟部能源局」之權責事項，自 112 年 9
  月 26 日起改由「經濟部能源署」管轄
6.中華民國 112 年 11 月 13 日經濟部經能字第 11258024400 號令修正
  發布第 2 條條文