一、經濟部工業局（以下簡稱本局）為審查半導體設備製造廠商及半導體
晶圓製造廠商以貿易方式輸出半導體晶圓製造用設備至大陸地區，特
訂定本要點。
二、本要點所稱之半導體晶圓製造用設備指貿易主管機關公告「輸出規定
代號一二一及四八八」之十七項半導體晶圓製造設備（如附表一）。
三、申請人應為依本國公司法設立之機械設備製造廠商或半導體晶圓製造
廠商，或經認許之國外機械設備製造廠商或半導體晶圓製造廠商在臺
灣設立之分公司。
四、申請人應檢附下列文件：
（一）半導體晶圓製造用設備出口至大陸地區同意函申請書（如附件一）
。
（二）工廠登記證明文件。
（三）設備型錄或照片。
（四）訂購文件。
五、輸出至大陸地區半導體晶圓製造用設備以非整廠方式為限，若屬半導
體晶圓廠整廠方式輸出至大陸地區者，須依在大陸地區投資晶圓廠審
查及監督作業要點辦理。
整廠方式輸出之認定，本局得視需要組成審議小組進行審議，審議小
組置委員七人，由本局副局長擔任召集人，經濟部技術處、經濟部投
資審議委員會代表各一人、研究機構、半導體晶圓製造廠及設備廠之
技術專家代表四人。
六、半導體晶圓製造用設備出口至大陸地區審查作業程序如附件二。
七、本局審核通過之申請案件，應核發同意函（格式如附件三）。
八、取得本局核發同意函之申請人，應於同意函核發之次日起十二個月內
依貿易主管機關相關規定向下列機關申請核發輸出許可證，逾期同意
函失其效力：
（一）科學工業園區內之廠商，向所屬之各該科學工業園區管理局申請。
（二）加工出口區內之廠商，向所屬之加工出口區管理處申請。
（三）科學工業園區及加工出口區外之廠商，向經濟部國際貿易局申請。